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利用紅外光譜儀对硅中氧碳含量测定上的应用
编辑 :

天津市能譜科技有限公司

时间: 2017-10-26 浏览量: 4763

单晶硅材料可以用于制造太阳能电池、半导体器件等,由于其应用领域的特殊性要求其纯度达到99.9999% 甚至更高。在单晶硅韩国高清过程中由原料及方法等因素难以避免的引入了碳、氧等杂质,直接影响了单晶硅的性能。因而需对单晶硅材料中的氧碳含量进行控制。

依据G B/T 1558-2009和G B/T 1557-2006,利用紅外光譜法結合傅立叶紅外光譜儀可以在對單晶矽中代位碳和間隙氧進行定性的同時進行定量測定,具有快速、方便、准確的優點。

· 原理

利用硅中代位碳原子和间隙氧原子分别在波数607.2cm -1和1107cm -1 有特征吸收,根据吸收峰的吸收系数来确定代位碳原子浓度和间隙氧原子的浓度。

· 實驗條件

儀器及附件:

   iCAN9 傅里叶变换紅外光譜儀

    氧碳测试附件 硅中氧碳测试支架; 

測試條件: 

    分辨率: 2cm -1

    扫描次数: 64次

    检测器: DTGS

      其他: 

    千分尺:精確至0.01mm

    氫氟酸(HF):分析純(A.R)    

· 樣品的制備

按GB/T 1558-2009和GB/T 1557-2006要求选取合适的参比硅片和样品硅片,分别用氢氟酸(HF)去除表面的氧化物,测定其厚度后,待测。  

· 樣品測試

1、采用iCAN 9红外硅中氧碳含量测试软件依次进行如下操作:背景扫描→输入参比厚度→扫描参比样品→输入样品厚度→扫描樣品→記錄數據;

2、重複樣品掃描2次並記錄數據,得到如下圖所示結果。

紅外光譜法在硅中氧碳含量测定上的应用

3、測試數據

紅外光譜法在硅中氧碳含量测定上的应用 · 結論

因此, iCAN9红外氧碳含量测试软件可以方便、快速的对单晶硅材料中的代位碳原子、间隙氧原子进行定量测定。


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